| 主权项 |
1.一种分析电路测试结果之装置,用以分析一电路测试结果,其包括一主电路及复数辅电路,每个均调整受该主电路影响而导致不良之功能,该装置包括资料库装置及不良资料分离装置以分离不良资料;其中该资料库保存有关设置于底层之主电路及辅电路群组之位置资料以及主电路及辅电路群组之间相互连接之资料做为主电路与辅电路群组之间的组合形式资料,且亦判断在同等阶段所有辅电路功能失灵时,主电路是否造成该等缺陷,资料库部另判断在辅电路群组某一辅电路较其他辅电路功能失灵时,是否该某一辅电路造成该等缺陷;及其中该不良资料根据该资料库装置,根据资料库部之判断将因电路引起不良之不良资料类与非因电路引起不良之不良资料类分离。2.依申请专利范围第1项所述之分析电路测试结果之装置,其中该不良资料分离装置经调整,根据保存在该资料库装置内之每一种该不良资料及该位置资讯,以萃取对应于底层之驱动电路频率分布。3.一种分析电路测试结果之方法,用以分析一电路测试结果,其包括一主电路及复数辅电路,每个均调整受该主电路影响而导致不良之功能之电路测试结果之电路测试结果方法,该方法包括:一第一步骤,保存有关设置于底层之主电路及辅电路群组之位置资料以及主电路及辅电路群组之间相互连接之资料做为主电路与辅电路群组之间的组合形式资料;一第二步骤,判断在同等阶段所有辅电路功能失灵时,主电路是否造成该等缺陷。资料库部另判断在辅电路群组某一辅电路较其他辅电路功能失灵时,是否该某一辅电路造成该等缺陷;及一第三步骤,根据在第二步骤之判断分离将因电路引起不良之不良资料类与非因电路引起不良之不良资料类。4.依申请专利范围第3项所述之方法,其中该方法尚包括一第四步骤,根据保存在该资料库装置内之每一种该不良资料及该位置资讯,以萃取对应于底层之驱动电路频率分布。5.依申请专利范围第4项所述之方法,其中该第四步骤另有后续之步骤:一第五步骤,将一目标分析分割成小区,并制作分割后每一区段之驱动电路群组的频率分布,以统计检视相对于每种不良资料之分布每一偏差;及一第六步骤,使用该分隔区域含任何驱动电路的每一新的区段做为一新的目标分析区,并将该新的目标分析区做分割区段分析,并制作每一新的分割区之该驱动电路群组之频率分布,以统计检视每一分布之偏差。6.依申请专利范围第5项所述之方法,其中该方法在该第六步骤之后尚包括:一第七步骤,检视位于某偏差范围内之该区段群组之频率分布,蒐集具有相同分布周期之该等区段群组;及一第八步骤,读取比在该第七步骤蒐集之较大的该偏差资料,检视在某一范围内之分布偏差资料之该区段群组之分布状态,及蒐集具有相同分布周期之该区段群组。7.一种储存有分析程式之记录媒体,用以分析一电路测试结果,其包括一主电路及复数辅电路,每个均调整受该主电路影响而导致不良之功能,电路之分析测试结果,该记录媒体储存一程式以执行下列步骤:一第一步骤,保存有关设置于底层之主电路及辅电路群组之位置资料以及主电路及辅电路群组之间相互连接之资料做为主电路与辅电路群组之间的组合形式资料;一第二步骤,判断在同等阶段所有辅电路功能失灵时,主电路是否造成该等缺陷。资料库部另判断在辅电路群组某一辅电路较其他辅电路功能失灵时,是否该某一辅电路造成该等缺陷;及一第三步骤,根据在第二步骤之判断分离将因电路引起不良之不良资料类与非因电路引起不良之不良资料类。8.依申请专利范围第7项所述之记录媒体,其中该记录媒体储存该程式以执行一第四步骤:根据保存在该资料库装置内之每一种该不良资料及该位置资讯,以萃取对应于底层之驱动电路频率分布。9.依申请专利范围第8项所述之记录媒体,其中该记录媒体储存该程式以在该第四步骤之后尚执行下列步骤:一第五步骤,将一目标分析分割成小区,并制作分割后每一区段之驱动电路群组的频率分布,以统计检视相对于每种不良资料之分布每一偏差;及一第六步骤,使用该分隔区域含任何驱动电路的每一新的区段做为一新的目标分析区,并将该新的目标分析区做分割区段分析,并制作每一新的分割区之该驱动电路群组之频率分布,以统计检视每一分布之偏差。10.依申请专利范围第9项所述之记录媒体,其中该记录媒体储存该程式以在该第六步骤之后尚执行下列步骤:一第七步骤,检视位于某偏差范围内之该区段群组之频率分布,蒐集具有相同分布周期之该等区段群组;及一第八步骤,读取比在该第七步骤蒐集之较大的该偏差资料,检视在某一范围内之分布偏差资料之该区段群组之分布状态,及蒐集具有相同分布周期之该区段群组。图式简单说明:第一图显示一晶圆之范例;第二图显示一晶圆上记忆电路之一范例;第三图为参考第二图记忆电路之主电路之不良图;第四图为参考第二图记忆电路之辅电路之不良图;第五图绘示根据本发明一较佳实施例一分析电路测试结果之装置之建构;第六图为一流程图说明分析电路测试结果之装置之功能;第七图为一流程图说明第六图第三步骤之内容;第八图为一流程图说明第七图第十步骤之内容;第九图说明根据本发明晶圆上不良之频率分布;第十图说明本发明使用一分析电路测试结果之装置之每一周期分布之不良分析方法;及第十一图绘示用以分离不良资料之电脑结构,包括一记录媒体以储存一分析程式。 |
