,申请号JP19970317272-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP3047969(B2)	申请公布日期	2000.06.05
申请号	JP19970317272	申请日期	1997.11.18
申请人		发明人
分类号	C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/455	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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