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发明名称
摘要
申请公布号
JP3047871(B2)
申请公布日期
2000.06.05
申请号
JP19970314702
申请日期
1997.11.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
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