| 发明名称 | 半导体激光激振测振仪 | ||
| 摘要 | 一种半导体激光激振测振仪,包括产生调制激振光束的激振光源和产生光强恒定测振光束的测振光源,光纤合波器,合束光纤,光电探测器,光纤复用器和端面对准被测样品并具有正弦相位调制的光纤探头。激振光束使被测样品产生振动,测振光束射到被测样品表面反射返回的光束和光纤探头端面反射返回的光束产生干涉,由此可同时测得振动频率和振动幅度。本发明具有多功能,非接触式,小型化,一体化,稳定性好,测量精度高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1255630A | 申请公布日期 | 2000.06.07 |
| 申请号 | CN99124197.5 | 申请日期 | 1999.12.02 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 陈高庭;方祖捷;王向朝;瞿荣辉;蔡海文;耿建新 |
| 分类号 | G01H9/00 | 主分类号 | G01H9/00 |
| 代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
| 主权项 | 1.一种半导体激光激振测振仪，包括：<1>在机壳(10)内置有带交直流电源(20)的激振光源(1)和带直流电源(5)的测振光源(4)；<2>置于机壳(10)内的光电探测器(18)的输出端连接到置于机壳(10)外的信号监示器(17)以及通过A/D变换模块(15)与计算机(16)相连；其特征在于：<3>激振光源(1)的输出光束通过激振臂光纤(2)与光纤合波器(6)的第一输入端(O1)相连，测振光源(4)的输出光束经测振臂光纤(3)与光纤合波器(6)的第二输入端(O2)相连；<4>光纤合波器(6)的输出端(O3)经合波光纤(7)与光纤复用器(8)的输入端(O4)相连，光纤复用器(8)的第一输出端(O5)连接前端带有光纤探头(11)的干涉光纤(9)；<5>光纤探头(11)置于带振动驱动电源(14)的压电陶瓷(13)上，光纤探头(11)的顶端端面(m)对准被测样品(12)；<6>光纤复用器(8)的第二输出端(O6)经最后输出光纤(19)将光束传送到光电探测器(18)的受光面上。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||