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发明名称
摘要
申请公布号 JP3080800(B2) 申请公布日期 2000.08.28
申请号 JP19920337885 申请日期 1992.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/8249;H01L21/336;H01L27/06;H01L27/118;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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