保護された集積回路相互接続を有するロバストな超音波トランスデューサプローブ

摘要

保護された相互接続を用いて超音波プローブが形成され、それによって、よりロバストなプローブが結果として生じる。相互接続は、トランスデューサエレメントのアレイと集積回路との間に設置される。トランスデューサエレメントのアレイは、フリップチップバンプまたは他の構造体を介して相互接続に対して接続されている。アンダーフィル材料が、相互接続を集積回路に対してしっかりと位置決めする。トランスデューサアセンブリを作成する方法が提供される。