溅射靶组合件及其制造方法

摘要

靶组合件由靶材、靶支托板及盖板构成，它含有一整体式的冷却通道。在支托板或盖板上事先开有若干沟槽，再将之牢固粘合；冷却液接头又只布置在其周界处，从而消除了该液漏入并污染处理室及工件的危险。组合件的下方封住了处理室，上方封住了内放扫动磁铁的并抽成真空的顶室，由于该件两侧压强已大致相同，纵使其形大而薄（镀平板显示器时需用），镀层仍能均匀，靶材利用率亦高，消除了因靶材弯沉或冷却不足而带来的不利影响。

主权项

1.一种溅射靶组合件，其特征是它包括：一块与靶支托板组合件的第一面紧密接触的溅射靶；该靶支托板组合件的形状被做成盖住一溅射室的一个开口、并把开口密封住，所述的溅射靶与所述的靶支托板组合件包括有多个层叠构件，其中一个所述的靶支托板组合件构件有一其上带有沟槽的表面，该表面用粘接剂粘接在邻接的一个所述靶支托板组合件构件的一个表面上，从而所述的沟槽形成了供热交换用的流体通道，该热交换用的流体通道有一个或几个进口与出口。