| 主权项 |
1.一种用以清除制程液体之阀门配置,该阀门配置至少包含:一制程液体流路,用以于一制程液体源与一液体流量计之间输送制程液体;一第一隔绝阀,形成该制程液体流路之第一部分;一第二隔绝阀,形成该制程液体流路之第二部分;一净气阀,以操作之方式耦合至该第一隔绝阀与该第二隔绝阀之间的该制程液体流路,该净气阀系用以操作之方式耦合至一净气源;及一帮浦阀,以操作之方式耦合至该第一隔绝阀与该第二隔绝阀之间的该制程液体流路,该帮浦阀系用以操作之方式耦合至一帮浦。2.如申请专利范围第1项所述之阀门配置,更包含一加热器,该加热器耦合于至少一个上述制程液体流路、上述第一隔绝阀、上述第二隔绝阀以及上述帮浦阀。3.如申请专利范围第1项所述之阀门配置,其中上述第一隔绝阀至少包含:一第一区段;一第二区段,位于该第一区段与上述液体流量计之间;及一隔绝机构,位于该第一区段与该第二区段之间,该隔绝机构具有一开启端以及一封闭端,该开启端可使制程液体流动于该第一区段与该第二区段之间,该封闭端系用以避免制程液体于该第一区段与该第二区段之间流动;其中上述第二隔绝阀至少包含:一第一区段;一第二区段,位于该第一区段与上述制程液体源之间;及一隔绝机构,位于该第一区段与该第二区段之间,该隔绝机构具有一开启端以及一封闭端,该开启端可使制程液体流动于该第一区段与该第二区段之间,该封闭端系用以避免制程液体于该第一区段与该第二区段之间流动;其中上述净气阀至少包含:一第一区段,以操作之方式耦合至上述第一隔绝阀之隔绝机构与上述第二隔绝阀之隔绝机构之间的上述制程液体流路;一第二区段,以操作之方式耦合至上述净气源;及一隔绝机构,位于该第一区段与该第二区段之间,该隔绝机构具有一开启端以及一封闭端,该开启端可使净化气体流动于该第一区段与该第二区段之间,该封闭端系用以避免净化气体于该第一区段与该第二区段之间流动;其中上述帮浦阀至少包含:一第一区段,以操作之方式耦合至上述第一隔绝阀之隔绝机构与上述第二隔绝阀之隔绝机构之间的上述制程液体流路;一第二区段,以操作之方式耦合至一帮浦;一隔绝机构,位于该第一区段与该第二区段之间,该隔绝机构具有一开启端以及一封闭端,该开启端可使上述制程液体流路被抽气,该封闭端系用以避免上述制程液体流路被被抽气。4.如申请专利范围第3项所述之阀门配置,其中上述第一隔绝阀之第一区段较上述第一隔绝阀之第二区段具有一较小之湿化边缘,上述第二隔绝阀之第一区段较上述第二隔绝阀之第二区段具有一较小之湿化边缘。5.如申请专利范围第4项所述之阀门配置,其中上述净气阀之第一区段较上述净气阀之第二区段具有一较小之湿化边缘,上述帮浦阀之第一区段较上述帮浦阀之第二区段具有一较小之湿化边缘。6.一种制程液体输送系统,至少包含:如申请专利范第3项所述之阀门配置;一制程液体源,以操作之方式耦合至上述第二隔绝阀之第二区段;一液体流量计,以操作之方式耦合至上述第一隔绝阀之第二区段;一净气源,以操作之方式耦合至上述净气阀之第二区段;及一帮浦,以操作之方式耦合至上述帮浦阀之第二区段。7.如申请专利范围第6项所述之制程液体输送系统,其中上述制程液体源至少包含一金属-有机物源。8.如申请专利范围第7项所述之制程液体输送系统,其中上述制程液体源至少包含一TDMA源。9.如申请专利范围第6项所述之制程液体输送系统,更包含一注入阀,该注入阀以操作之方式耦合至上述液体流量计。10.如申请专利范围第6项所述之制程液体输送系统,其中上述净气源至少包含一非反应性气体。11.如申请专利范围第10项所述之制程液体输送系统,其中上述净气源至少包含一氮气源。12.如申请专利范围第6项所述之制程液体输送系统,更包含一控制器,该控制器以操作之方式耦合至上述第一隔绝阀、上述第二隔绝阀、上述净气阀以及上述帮浦阀,该控制器系程式化用以:(a)关闭上述第一隔绝阀及上述第二隔绝阀,以便隔绝上述制程液体流路之部份;(b)开启上述净气阀以及上述帮浦阀,以便以来自净气源之净化气体清除上述制程液体流路之隔绝部份;(c)关闭上述帮浦阀,以便将上述制程液体流路之隔绝部份的制程液体及净化气体抽离。13.如申请专利范围第12项所述之制程液体输送系统,上述控制器更程式化用以:重复(b)及(c),直到上述制程液体流路之隔绝部份的制程液体被充分地清除为止。14.一种自制程液体流路清除制程液体之方法,至少包含:(a)藉由复数个隔绝阀,隔绝位于一制程液体源与一液体流量计间之制程液体流路的部份;且(b)以净化气体清除该制程液体流路之隔绝部份;(c)将该制程液体流路之隔绝部份的制程液体及净化气体抽离。15.如申请专利范围第14项所述之方法,更包含:重复(b)及(c),直到上述制程液体流路之隔绝部份的制程液体被充分地清除为止。16.如申请专利范围第14项所述之方法,更包含:(d)当上述制程液体流路之隔绝部份清除及抽离时,授与上述制程液体流路中之制程液体热能以增加剥离。17.如申请专利范围第16项所述之方法,其中上述授与制程液体热能至少包含加热上述复数个隔绝阀以及上述制程液体流路之隔绝部份。18.如申请专利范围第14项所述之方法,其中上述隔绝制程液体流路之部份至少包含:提供一第一隔绝阀于沿着上述制程液体流路的第一位置;关闭该第一隔绝阀;提供一第二隔绝阀于沿着上述制程液体流路的第二位置,该第二隔绝阀具有一开启端以及一封闭端;且关闭该第二隔绝阀。19.如申请专利范围第14项所述之方法,其中上述以净化气体清除制程液体流路之隔绝部份的步骤至少包含以非反应性气体清除上述制程液体流路之隔绝部份。20.如申请专利范围第14项所述之方法,其中上述将制程液体流路之隔绝部份的制程液体及净化气体抽离的步骤至少包含:提供一帮浦;提供一帮浦阀,该帮浦阀具有一开启端以及一封闭端;以操作方式使该帮浦阀耦合至该帮浦以及上述制程液体流路之隔绝部份;且开启该帮浦阀,以便对上述制程液体流路之隔绝部份进行抽离。21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中上述以净化气体清除该制程液体流路之隔绝部份的步骤至少包含:提供一净气源;提供一净气阀,该净气阀具有一开启端以及一封闭端;以操作之方式使该净气阀耦合至该净气源以及上述制程液体流路之隔绝部份;且开启该净气阀,以便以净化气体清除上述制程液体流路之隔绝部份。22.一种更换异常之注入阀的方法,该注入阀系以操作之方式经由一制程液体流路以及一液体流量计耦合至一制程液体源,该方法至少包含:提供一第一隔绝阀,该第一隔绝阀位于沿着该制程液体流路之第一位置,该第一位置位于该制程液体源与该液体流量计之间,该第一隔绝阀具有一开启端以及一封闭端;提供一第二隔绝阀,该第二隔绝阀位于沿着该制程液体流路之第二位置,该第二位置位于该制程液体源与该液体流量计之间,该第二隔绝阀具有一开启端以及一封闭端;提供一净气源;提供一净气阀;以操作之方式使该净气阀耦合至该净气源以及该制程液体流路之第三位置,该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间;提供一帮浦;提供一帮浦阀;以操作之方式使该帮浦阀耦合至该帮浦以及该制程液体流路之第四位置,该第四位置位于该第一位置与该第二位置之间;关闭该第一隔绝阀以及该第二隔绝阀,以便隔绝该制程液体流路之部份;以净化气体及该帮浦清除该制程液体流路之隔绝部份;且以一单元之方式移除该第一隔绝阀、该液体流量计以及该异常之注入阀。23.如申请专利范围第22项所述之方法,其中上述清除该制程液体流路之步骤至少包含:开启上述净气阀以及上述帮浦阀,以便清除上述制程液体流路之隔绝部份;且关闭上述净气阀,以便对上述制程液体流路之隔绝部份进行抽离。24.如申请专利范围第22项所述之方法,更包含:以一新的第一隔绝阀、一新的液体流量计以及一新的注入阀更换上述第一隔绝阀、上述液体流量计以及上述异常之注入阀。25.如申请专利范围第24项所述之方法,更包含:在导入制程液体之前,清除上述制程液体流路之隔绝部份,该隔绝部份位于上述第一隔绝阀与上述第二隔绝阀之间。26.一种更换元件的方法,该元件系以操作之方式耦合至一制程液体流路,该方法至少包含:提供一第一隔绝阀,该第一隔绝阀位于沿着该制程液体流路之第一位置,第一隔绝阀具有一开启端以及一封闭端;提供一第二隔绝阀,该第二隔绝阀位于沿着该制程液体流路之第二位置,该第二位置位于该元件与该第一位置之间,该第二隔绝阀具有一开启端以及一封闭端;提供一净气源;提供一净气阀;以操作之方式使该净气阀耦合至该净气源以及该制程液体流路之第三位置,该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间;提供一帮浦;提供一帮浦阀;以操作之方式使该帮浦阀耦合至该帮浦以及该制程液体流路之第四位置,该第四位置位于该第一位置与该第二位置之间;关闭该第一隔绝阀以及该第二隔绝阀,以便隔绝该制程液体流路之部份;以净化气体及该帮浦清除该制程液体流路之隔绝部份;且以一单元之方式移除该第二隔绝阀以及元件。27.如申请专利范围第26项所述之方法,其中上述清除制程液体流路之步骤至少包含:开启上述净气阀以上述帮浦阀,以便清除上述制程液体流路之隔绝部份;且关闭上述净气阀,又便对上述制程液体流路之隔绝部份进行抽离。图式简单说明:第一图系一前述传统制程液体输送系统之示意图。第二图系本发明之制程液体输送系统的示意图,其阀门之配置具有发明性。第三图系第二图之阀门配置的较佳组态立体图。第四图系第三图之阀门配置的简化侧视图。第五图系一与本发明结合之阀门配置之制程液体输送系统的附加示意图。 |
