| 摘要 |
一种敲击式近场光学显微装置,主要包含有:一光源组件,系用以提供一光源者;一光纤探针,其一端连结于该光源组件,藉由该光源组件之光源供应,使该光纤探针之另一尖端处形成一近场之点光源者;一振荡组件,具有一压电陶瓷及一悬臂件,其中该悬臂件一端系贴附于该光纤探针之末端者,且该压电陶瓷则置设于悬臂件上;一讯号回馈组件,系利用谐波讯号来驱动其振动之压电陶瓷，使得光纤探针之振幅及相位产生改变而作一回馈控制者。 |
| 主权项 |
1.一种敲击式近场光学显微装置,主要包含有:一光源组件,系用以提供一光源者;一光纤探针,其一端连结于该光源组件,藉由该光源组件之光源供应,使该光纤探针之另一尖端处形成一近场之点光源者;一振荡组件,具有一压电陶瓷及一悬臂件,其中该悬臂件一端系贴附于该光纤探针之末端者,且该压电陶瓷则置设于悬臂件上;一讯号回馈组件,系利用谐波讯号来驱动其振动之压电陶瓷,使得光纤探针之振幅及相位产生改变而作一回馈控制者。2.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该悬臂件,系为一悬臂音叉者。3.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该悬臂件,系为一单一悬臂梁。4.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该悬臂件,系为一双臂悬臂梁。5.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该压电陶瓷系一端面黏附一磁铁一端面,该磁铁另一端面则吸附有一铁片,该铁片再置设于该悬臂件上者。6.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该光源组件,系包含有一雷射光源,其经一遮板,再经一光纤耦合器而将光源导入该光纤探针中。7.依据申请专利范围第1项所述之敲击式近场光学显微装置,其中该讯号回馈组件,具有一控制盒,其中一讯号端经一前置放大器而与该悬臂件作连结;该控制盒另一端则由该光纤探针尖端取得光学讯号,而导至一光电倍增管再至一锁相放大器放大讯号至该控制盒中;又该控制盒另一端则形成一回馈控制者。图式简单说明:第一图系习用剪力式近场光学显微装置之结构示意图。第二图系习用剪力式近场光学显微装置在空气中,在共振频率下,振幅波峰与探针距离样品高度之关系图。第三图系本发明敲击式近场光学显微装置之结构示意图。第四图系本发明敲击式近场光学显微装置之振荡组件之放大立体图。第五图系习用剪力式与本发明击式近场光学显微装置在不同环境条件下,其输出电压与驱动振幅之关系比较图。第六图系本发明敲击式近场光学显微装置在空气中,在共振频率下,振幅波峰与探针距离样品高度之关系图。第七图系本发明敲击式近场光学显微装置在水中,在共振频率下,振幅波峰与探针距离样品高度之关系图。 |
