| 主权项 |
1.一种加热装置,连接于一蚀刻反应室,该加热装置至少包含:加热器,用以在该反应室中提供热能;加热器配接凸缘(adapter flange),具有一导管部份与连接于该导管部份之圆柱部份,其中该圆柱部份之圆形顶面上具有中心开口,与环绕于该中心开口周围之六个螺丝孔,且该中心开口穿该导管部份,而该六个螺丝孔则贯穿该圆柱部份,其中该加热器配接凸缘用以包覆该加热器,并密封住该应室;线路,经由该导管部份,分别连接于该加热器末端与电源供应器,用以提供该加热器电能;小O-型垫圈,位于该加热器配接凸缘上之该中心开口内侧凹槽内,用以密封该加热器与该加热器配接凸缘;大O-型垫圈,位于该圆柱部份与该导管部份邻接处的凹槽内,用以密封该加热器与该反应室;及套筒,用以穿套于该圆柱部份上,其中该套筒具有圆形平面与连接于该平面边缘之环形侧面,且在该圆形平面上具有一中心孔洞与六个周围孔洞,用以分别对应于该加热器配接凸缘的该中心开口及该六个螺丝孔。2.如申请专利范围第1项所述之装置,系使用于Gasonics L3510型的装置。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中上述之加热器配接凸缘系使用铁氟龙(Teflon)材质制成。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中上述之套筒系使用金属材质,且在使用该套筒上该加热器配接凸缘(adapter flange)上,可将该六颗螺丝的应力均匀分布在该加热器配接凸缘上。5.如申请专利范围第1项所述之装置,其中上述之套筒其环形侧面之高度低于该加热器配接凸缘(adapter flange)其圆柱部份之侧面高度。6.一种套筒装置,该套筒为一圆筒盖,且上表面具有一中心孔洞与六个周围孔洞,该套筒可穿套于加加热器配接凸缘(adapter flange)上,用以分散六颗螺丝的应力,以防止该加热器配接凸缘(adapter flange)产生形变。7.如申请专利范围第6项所述之装置,系于Gasonics L3510型的装置。8.如申请专利范围第6项所述之装置,其中上述之加热器配接凸缘(adapter flange)具有一导管部份与连接于该导管部份之圆柱部份,其中该圆柱部份之圆形顶面上具有中心开口,与环绕于该中心开口周围之六个螺丝孔,且该中心开口贯穿该导管部份,而该六个螺丝孔则分别贯穿该圆柱部份。9.如申请专利范围第8项所述之装置,其中上述套筒其环形侧面之高度低于该加热器配接凸缘其圆柱部份之侧面高度。10.如申请专利范围第6项所述之装置,其中上述之套筒系使用金属材质,且在使用该套筒于该加热器配接凸缘(adapterflange)上时,可将该六颗螺丝的应力均匀的分布于该加热器配接凸缘(adapter flange)上。11.一种套筒装置,其中该套筒具有一圆形平面与连接于该平面边缘之形侧面,且该平面上具有一个中心孔洞与复数个周围孔洞,该复数个周围孔洞平均分布于该中心孔洞之周围,其中该复数个周围孔洞分别对应于加热器配接凸缘(adapter flange)上之复数个螺丝孔,以便在将该套筒装置套于该加热器配接凸缘上时,可在使用该复数个螺丝进行固定该加热器配接凸缘程序时,分散且均分所产生之应力,并防止该加热器配接凸缘产生形变。12.如申请专利范围第11项所述之装置,系使用于Gasonics L3510型的装置。13.如申请专利范围第11项所述之装置,其中上述之套筒系使用金属材质制成。14.如申请专利范围第11项所述之装置,其中上述之加热器配接凸缘的开口位于该圆形平面的中心。15.如申请专利范围第11项所述之装置,其中上述之套筒侧面高度低于加热器配接凸缘的该平面边缘之环形侧面高度。16.如申请专利范围第11项所述之装置,其中上述之复数个周围也洞系包含六个周围孔洞。17.如申请专利范围第11项所述之装置,其中上述之套筒的硬度系比该加热器配接凸缘的硬度硬。18.一种使用于Gasonics L3510型的金属套筒装置,其中该金属套筒具有一圆形平面与连接于该平面边缘之环形侧面,且该平面上具有一个中心孔洞与六个周围孔洞,该六个周围孔洞平均分布于该中心孔洞之周围,其中该六个周围孔洞分别对应于加热器配接凸缘(adapterflange)上之六个螺丝孔,以便在将该套筒装置套于该加热器配接凸缘上时,可在使用该六个螺丝进行固定该加热器配接凸缘程序时分散且均分所产生之应力,并防止该加热器配接凸缘产生形变,该加热器配接凸缘的开口位于该圆形平面的中心,且该金属套筒侧面高度低于该加热器配接凸缘的该平面边缘之环形侧面高度。19.如申请专利范围第18项所述之装置,其中上述之加热器配接凸缘(adapterflange)系使用铁氟龙(Teflon)材质制成。图式简单说明:第一图为目前用以移除晶圆上光阻层之Gasonics L3510型机台其反应室与加热器配接凸缘(adapter flange)装置之相关示意图;第二图为目前用以密封反应室与加热器之加热器配接凸缘(adapter flange)其侧面图;第三图为根据本创作所设计用以穿套于加热器配接凸缘上之套筒其侧面图;及第四图为将本创作所设计之套筒穿套于加热器配接凸缘上之示意图。 |
