| 摘要 |
<p>본 발명은, 개폐동작과 이동적재동작을 동시에 행할 수 있는 구조를 가지는것에 의해, LT를 연장하지 않고, 비용증가를 억제하며, 사람으로부터의 발진에 의한 영향을 억제할 수 있는 반도체수납도구, 핸들링방법 및 생산시스템에 관한 것이다. 테이블(4)상의 캐리어(2)에 대해서, 상부로부터 씌우는 구조(6), 또는 양 측면에 내부의 캐리어(2)를 쥐는 상태로 변형하는 발진이 없는 재질의 창부(8)를 설치하며, 이동적재기(3)의 조부(13)를 제어부(12)에 의해 2단 제어하고, 덮개와 캐리어의 동시 보지 또는 덮개만의 보지를 분리해서 사용하는 것에 의해 개폐와 이동적재를 행한다.</p> |
