发明名称 SINGLE CRYSTAL SILICON MICROMIRROR AND ARRAY
摘要 <p>A micromirror (10) is fabricated in a substrate (12) by defining a mirror platform (18) on a first side (16) of the substrate (12), defining an actuator structure (14) corrected to the platform (18) on a second side (20) of the substrate (12).</p>
申请公布号 WO2001053872(A1) 申请公布日期 2001.07.26
申请号 US2001000018 申请日期 2001.01.18
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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