主盘干燥盖组件

摘要

公开了一种旋转涂层器干燥盖,它具有独特的功能和结构,可精确地控制聚碳酸酯盘片基底上的硝化纤维素染料聚合物溶液的光活性薄层的干燥过程。该盖子构制有一定向平台,以进行该盖子的多孔气体过滤圆盘相对光活性层的角度和距离的微调。基本平行且与盘片基底同心的过滤器可以变化成平坦、突出或凹进的拱形,以使气体流过盘片基底之上,由此可获得光活性薄层的可变的线性斜面,该薄层在周缘处比在盘片的中心要厚。这使得较深的数据坑可形成在难以模制的盘片外周缘上,由此增加了主盘制造过程的产量。

主权项

1．用于干燥盘片基底上的带有所需斜面的旋转涂覆薄层的一盘片闭合体，它包括：一盘片壳体；连接于所述壳体的一壳体定向平台；设置在所述壳体上接近所述盘片基底的一过滤器；用以改变所述过滤器和所述盘片基底之间的间隙的调节装置；以及通过所述过滤器且横过所述盘片基底用以将气体分配进入所述壳体的装置。