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发明名称 Device and Method for Detecting Leakage of Filter Film
摘要 <p>여과막으로 구분된 두 공간 중 한쪽에 기체를 공급하는 기체 공급 수단, 다른쪽 공간으로 누출되는 기체의 양을 검출하는 기체 검출 수단, 및 공급되는 기체가 상기 기체 검출 수단에 영향을 미치지 않도록 방지하는 수단을 포함하는, 여과막의 누출 검출 장치.</p>
申请公布号 KR100303972(B1) 申请公布日期 2001.09.24
申请号 KR19997005841 申请日期 1999.06.26
申请人 null, null 发明人 후까다,세지;이또세,다까오
分类号 B01D65/10;G01N15/08 主分类号 B01D65/10
代理机构 代理人
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