用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法

摘要

本发明涉及一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法,首先在第一玻璃片上打孔,然后在第二玻璃片上镀Cr膜,甩涂光刻胶,用刻有微管道图形的模板作为掩膜版,对光刻胶曝光并显影,露出该处的Cr膜层,再刻蚀,形成微管道图形,最后用腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络,使上、下玻璃片的通孔、端部相对准,在高温度下使两片玻璃键合。本发明的方法,制造成本低,易于大批量生产,工艺流程的简单,提高了制造成品率。

主权项

1、一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，其特征在于该方法包括如下步骤：(1)在第一玻璃片上打孔，孔径在1毫米到2毫米之间；(2)对第二玻璃片表面进行抛光处理和清洗，使第二玻璃片表面清洁光滑，然后在玻璃上溅射或蒸镀Cr膜，使Cr膜的厚度为120nm～145nm，在Cr膜上甩涂光刻胶并预烘，预烘时间为20～30分钟，温度为100℃～120℃，用刻有微管道网络图形的模板作为掩膜版，对光刻胶曝光并显影，以去除光刻胶层上对应于掩膜版微管道网络图形位置的光刻胶，露出该处的Cr膜层，再后烘，时间为20～30分钟，温度为140℃～150℃，用硝酸铈铵溶液对露出的Cr层进行刻蚀，露出该处的玻璃，从而形成微管道网络图形，硝酸铈铵溶液中硝酸铈铵的含量小于15％；(3)采用HF与HNO3腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络，HF与HNO3腐蚀液中的HF体积比小于40％，使微管道的深度为5～40μm，宽度为30～120μm，最后将玻璃片放在H2SO4和H2O2的混合液中浸泡，以去除掩膜层，浸泡时间为20～30分钟；(4)使第一玻璃片上的通孔与第二玻璃片上微管道的端部相对准，然后在600℃～620℃温度下使两片玻璃粘接键合在一起，热键合时间为1.5～4小时，即得用于化学分析的毛细管电泳芯片。