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发明名称
METHOD FOR FORMING METAL INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20010114051(A)
申请公布日期
2001.12.29
申请号
KR20000033980
申请日期
2000.06.20
申请人
发明人
分类号
(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
(IPC1-7):H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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