| 主权项 |
1.一种可用以产生一具有一包含一光栅和一快速调制机构之线窄化单元之一脉波雷射光束窄频带电气放电雷射之有效频宽的程序,此程序包含之步骤有:A)监控此雷射光束,以决定个别脉波之雷射脉波的频宽,B)在一系列之脉波期间,周期性地调整上述之调制机构,以致上述系列脉波中之某些脉波的波长,系略为较长于一目标波长,以及上述系列脉波中之某些脉波的波长,系略为较短于上述之目标波长,以便就上述之系列脉波,产生一平均値频谱,使其中心大约在上述之目标波长处,以及其离上述目标波长之平均频谱方差,大约等于一希望之方差。2.如申请专利范围第1项所申请之程序,其中之线窄化单元,系包括一压电驱动器单元。3.如申请专利范围第2项所申请之程序,其中之线窄化单元,系包括一受上述压电驱动器单元驱动之调制面镜驱动器。4.如申请专利范围第1项所申请之程序,其中,彼等个别脉波之频宽,在决定上系藉;决定一分光仪之一狭缝函数;决定一原始资料频谱,就上述之雷射,褶积该等原始资料频谱与狭缝函数,而产生一顺向褶积频谱;决定上述顺向褶积频谱有关之宽度WFC,和上述原始资料频谱之一宽度WR;藉一公式等于:WT=WR-(WFC-WR)来计算上述真实频谱之宽度的一个估计値WT。图式简单说明:第1图系一可显示最佳焦点随波长之变动的曲线图;第2图系显示一典型窄频带之气体放电雷射频谱;第3图系显示空中影像强度随频宽之变动;第4A、4B、和4C图系显示重要尺度随频宽之变化的变动;第5图系一窄频带雷射系统之方块图;第6图系一波长计之绘图;第6A和6B图系显示如何计算波长;第7和8图系显示吾等申请人所建立之两较佳实施例;第9图系显示彼等测试结果;第10图系显示一在配置上系依据一较佳实施例之雷射系统;第11A、11B、11C和11D图系显示一些可在一较佳实施例中用以冷却一光栅面之技术;第12.12A、和12B图系显示一建议可用以提供快速及较细致之波长控制的技术;第12C和12D图系一些可描述波长控制演算法之流程图;第13A和13B图系显示一可用以在上述雷射室中产生不同雷射气体温度区域之热交换器设计;第14.14A、和14B图系显示一较佳LNP之特征;而第15图则系显示一与一假设性真实频谱相较狭缝函数。 |
