真空排气阀

摘要

利用阀体开闭连结腔口和泵口的流道中的阀座的真空排气阀中,在上述阀体上除了设置提动阀式开闭上述阀座的阀密封部件之外,还设置嵌入阀座的内孔内的前端渐渐变细的流量调整部,在上述阀体开阀时,该流量调整部起渐渐增大排气流量的作用。

主权项

1.一种真空排气阀，具有：用于与真空腔连接的腔口、用于与真空泵连接的泵口；具有这些口的壳体；连结上述腔口和泵口的流道中的阀座；开闭上述阀座的阀体；通过轴连结于上述阀体的活塞；对上述活塞作用开阀方向的空气压的压力作用室；将上述阀体朝闭阀方向弹压的弹簧单元，其特征在于：上述阀体具有通过与上述阀座接触、离开而提动阀式开闭该阀座的阀密封部件、嵌入上述阀座的内孔内并借助上述阀密封部件的开闭来在该内孔内位移的柱状流量调整部，该流量调整部通过形成为前端部渐渐变细形状而具有在开放上述阀密封部件时渐渐增大流过流道的气体流量的功能。