发明名称 一种镀铝机隔离式阴极水冷装置
摘要 本实用新型公开了一种镀铝机隔离式阴极水冷装置,包括正电极固定板、负电极固定板、阴极水冷隔离密封座和负电极,所述正电极固定板和负电极固定板内均设有多个正电极和负电极,正电极和负电极之间设有氮化硼坩埚;所述负电极置于负电极固定板内的空腔内,且每个空腔相互连通,负电极固定板上密封安装阴极水冷隔离密封座,阴极水冷隔离密封座通过管道将外部冷却水引入空腔内,本实用新型产生的有益效果是:通过负电极固定板内的相互连通的空腔,并由阴极水冷隔离密封座引入外部冷却水实现对负电极的水冷,防止了负电极在长期高温状况下的严重变形。
申请公布号 CN205741191U 申请公布日期 2016.11.30
申请号 CN201620663873.5 申请日期 2016.06.29
申请人 上海宝镀真空设备科技有限公司 发明人 田晓东
分类号 C23C14/20(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I 主分类号 C23C14/20(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种镀铝机隔离式阴极水冷装置,包括正电极固定板、负电极固定板、阴极水冷隔离密封座和负电极,其特征在于,所述正电极固定板和负电极固定板内均设有多个正电极和负电极,正电极和负电极之间设有氮化硼坩埚;所述负电极置于负电极固定板内的空腔内,且每个空腔相互连通,负电极固定板上密封安装阴极水冷隔离密封座,阴极水冷隔离密封座通过管道将外部冷却水引入空腔内。
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