发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING MASK FOR USE IN VAPOR DEPOSITION AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
摘要 증착용 마스크의 제조 방법은, 증착 재료의 통과구멍으로서 복수의 제1의 개구를 갖는 제1의 마스크를 형성하고, 제1의 마스크를 프레임에 장설한다. 제1의 마스크를 형성할 때에, 제1의 개구의 위치 설계할 때에, 프레임에의 장설시에 있어서의 개구 위치 시프트량을 가미한 보정을 행한다.
申请公布号 KR20160138956(A) 申请公布日期 2016.12.06
申请号 KR20167025009 申请日期 2015.03.06
申请人 소니 주식회사 发明人 이시카와 히로이치;오키타 마사미;사카이 켄타로우;사이토 아키라
分类号 C23C14/04;C23C14/12;G03F7/00;H01L51/00;H01L51/50;H01L51/56 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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