| 摘要 |
본 발명은 계면접합력 평가방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 계면접합력 평가방법는 압입시험을 통해 최대압입하중(L)과 최대압입깊이(h)를 측정하는 단계; 최대압입하중(L)과 최대압입깊이(h)를 경도(HHH) 산출식과 소성영역 부피(VV) 산출식에 대입하여 기판의 경도(H), 박막의 경도(H), 복합경도(H), 기판의 소성영역 부피(V), 박막의 소성영역 부피(V)를 산출하는 단계; 기판의 경도(H)와 박막의 경도(H)를 비교하는 단계; 각각의 경도(HHH)와 소성영역 부피(VV)를 계면변수(x) 산출식에 대입하여 계면변수(x)를 산출하는 단계; 및 계면에 의한 일(W) 산출식을 통해 계면접합력에 의한 일(W)을 산출하는 단계를 포함하여 시험조건에 영향을 받지 않는 정량적인 계면접합력을 구하게 되는 계면접합력 평가방법이다. |
