| 主权项 |
1.一种旋转元件,其位在用来制造一半导体元件的装置中,该旋转元件包括:一转轴、一旋转头和一夹持该转轴和该头的夹具,该夹具包括一环状夹架,其包括第一和第二弧臂围绕该转轴和该头,且具有分别面对彼此的自由端、一从该第一旋臂之自由端伸出的凸部、一枢接至该第二旋臂的自由端之杠杆,和一具有被枢接至该杠杆的一端和被钩挂至该凸部的另一端之紧固件。2.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该紧固件系在一与该杠杆被枢接至该第二旋臂之自由端的位置呈偏位之位置处被枢接至该杠杆,且该杠杆、紧固件和凸部共同地组成一肘节头,藉此,该紧固件可藉由令该杠杆朝一第一方向枢转而移动至该紧固件可被钩挂至该凸部或从之松脱的一开口位置,而因此一旦该紧固件被钩挂于该凸部,则该紧固件可藉由将该杠杆朝一相对于该第一方向的第二方向枢转而移动至一关闭位置,因此该夹具构件旋臂之自由端受迫于该肘节头而彼此靠近,由此产生一作为令该转轴和该头彼此固定的夹持力。3.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该转轴和该头分别地具有外圆周凸缘,且该环状夹架具有一沿着其内圆周表面延伸的凹槽,该等凸缘被容纳在该凹槽内。4.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该夹架的第一旋臂是弧形的,该夹架的第二旋臂是弧形的,且该第一和第二旋臂系于远离自由端的个别第二端而彼此钩挂。5.如申请专利范围第4项之旋转元件,其中该凸部系与该第一旋臂一体成形。6.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该紧固件的另一端有一回圈外形。7.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该夹具另包括一安全机构,其闭锁该杠杆在该关闭位置。8.如申请专利范围第7项之旋转元件,其中该杠杆有一延伸穿过该杠杆的开口,且该安全机构包括一从该第二旋壁之自由端延伸穿过位在该杠杆内之开口的连杆,和一安装在该连杆上以便于能相对于该连杆自由地旋转的闭锁构件,当被衔接于此时该闭锁构件被放置越过该杠杆,该闭锁构件在一方向有一大于位在该杠杆上之开口宽度的宽度,另在另一方向具有一小于在该杠杆上之开口宽度的宽度,以使得该闭锁构件可旋转至一可以穿过在该杠杆上的开口之位置,藉此容许该杠杆朝该第一方向枢转。9.如申请专利范围第8项之旋转元件,其中该闭锁构件亦轴向地沿着该连杆而滑动,且该安全机构另包括至少一被放置在该连杆上且衔接于该闭锁构件之弹簧,以便于弹性地支撑该闭锁构件。10.如申请专利范围第1项之旋转元件,其中该头是一化学机械抛光装置之可旋转的晶圆夹头。图式简单说明:第1图为一用来使用在制造一半导体元件之一传统CMP装置的一头、一转轴和一夹具的立体图;第2图为一根据本发明较佳具体实施例之一旋转装置的立体图,其包括一头、一转轴和一夹具;第3图为一根据本发明该CMP装置之旋转元件夹具的部分立体图;第4A图至第4D图为一该夹具的立体图且一起例示该夹具被操作至固定该头至该转轴的顺序。 |
