发明名称 压力感测器
摘要 一种感测器具有一个外壳用于接收流体并量测其压力,且于此外壳之内配置有一个电极组合及一个隔板以形成一个可变电容器。于一个实施例中,此电极组合包含一个具有导电电极的电介质碟片以及一个形成于此碟片表面而朝向隔板的垫补层。于垫补隔板之间提供一个间隔器环而使得此间隔器环的厚度设定出电极组合的电极与隔板之间的缝隙。于另二实施例中,电极组合是一个整体的单位,其上包含一个外壳以及一个电极使得外壳与电极的下表面是互为共面的。此实施例中,间隔器是位于外壳与隔板之间使得此环的厚度设定出缝隙的长度。
申请公布号 TW508434 申请公布日期 2002.11.01
申请号 TW087110638 申请日期 1998.07.01
申请人 MKS仪器股份有限公司 发明人 克里斯多弗P.古罗雷
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人 郑自添(已殁) 台北市敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种检测流体压力用的压力感测器,该压力感测器包括:一外壳,用来接收流体而检测其压力;一装设于该外壳内的电极组合,该电极组合内含有一导体;一与电极组合内的导体间隔开的导电隔板,以界定出一在导体与隔板之间具有缝隙的电容器,该隔板是装设于该外壳内而相对于电极组合是可移动的,使得缝隙尺寸会改变以回应所接收流体压力的改变;一间隔器,具有厚度且配置于电极组合与隔板之间与它们形成接触,使得间隔器的厚度可以确定出缝隙的尺寸;其中该电极组合至少具有一靠近隔板的导体以及一外壳,该电极组合形成了一整体的单一单元,使得外壳和导体各有其个别的下表面是互呈共平面的,隔板与外壳之间有一间隔器使得电极与隔板之间的缝隙是由间隔器的厚度而界定。2.如申请专利范围第1项之压力感测器,尚包括一与第一导体及外壳呈电气绝缘而依单一单元方式整体地形成的第二导体,该第二导体上有一个表面是与第一导体的表面及外壳共平面的。3.如申请专利范围第2项之压力感测器,其中该第一导体是形成于该单元的中心且藉第一电介质环所围绕,第二电极是围绕住第一电介质环,而第二电介质环是围绕住第二导体,而外壳则围绕住第二电介质环。4.如申请专利范围第3项之压力感测器,其中该电介质环中至少有一个是由玻璃形成的而该导体则是由金属制成的。5.一种压力感测器,包括:一第一导体及一外壳,互呈电气绝缘的且一起形成该整体单一单元,该第一导体和该外壳各有一下表面,该个别的下表面是共面的;一隔板,其指向是平行于且由一缝隙与第一导体间隔开以致隔板和第一导体形成一可变电容器,该隔板是可移动的以改变缝隙的尺寸;以及一位于外壳下表面与该隔板之间的间隔器,该间隔器的厚度界定了该导体与该隔板之间标称的缝隙。6.如申请专利范围第5项之压力感测器,尚包括一具有下表面的第二电极,而该下表面是与该第一电极下表面及外壳共面的。7.如申请专利范围第6项之压力感测器,尚包括一位于第一与第二电极之间的第一电介质构件,以保持第一和第二电极之间互呈电气绝缘,以及一位于第二电极与外壳之间的第二电介质构件,以保持第二电极和外壳之间互呈电气绝缘。8.一种压力感测器,包括;一电极组合,含有一第一导体,一第二导体,一第一电介质构件,一第二电介质构件,及一外壳,该第一导体之下表面系实质地与该第二导体之下表面及该外壳之下表面共平面,该第一电介质构件系配置于该第一与第二导体间且电气绝缘该第一导体与第二导体,该第二电介质构件系配置于该第二导体与该外壳之间;一可伸缩之导电隔板,该隔板与该第一导体形成一电容器,该电容器之电容量系根据该隔板与该第一导体间之缝隙;以及一间隔器,配置于该外壳之下表面与该隔板之间。9.如申请专利范围第8项之压力感测器,其中该外壳系导电性的,且其中该第二电介质构件电气地绝缘该第二导体与该外壳。10.如申请专利范围第9项之压力感测器,其中该外壳,该第一导体,及该第二导体均形成自实质相同之导电材料。11.一种压力感测器,包括:一电极组合,含有一外壳,一第一电介质构件,及一第一导体,该外壳界定一孔,至少一部分之该第一电介质构件系配置于该外壳所界定之该孔中,该第一电介质构件界定一孔,至少一部分之该第一导体系配置于该第一电介质构件所界定之该孔中,该外壳之下表面系实质地与该第一导体之下表面共平面;一可伸缩之导电隔板,该隔板与该第一导体形成一电容器,该电容器之电容量系根据该隔板与该第一导体间之缝隙;以及一间隔器,配置于该外壳之下表面与该隔板之间。12.如申请专利范围第11项之压力感测器,尚包括一第二导体及一第二电介质构件,至少一部分之该第二电介质构件系配置于该外壳所界定之该孔中,该第二电介质构件界定一孔,至少一部分之该第二导体系配置于该第二电介质构件所界定之该孔中,该第二导体之下表面系实质地与该第一导体之下表面共平面。13.如申请专利范围第12项之压力感测器,其中该第一电介质构件系环形。14.如申请专利范围第13项之压力感测器,其中该第二电介质构件系环形。15.如申请专利范围第14项之压力感测器,其中至少一部分之该第一电介质构件系配置于该第二电介质构件所界定之该孔中。16.如申请专利范围第11项之压力感测器,其中该第一电介质构件系环形。17.如申请专利范围第11项之压力感测器,其中该外壳之顶部表面实质地与该第一电介质构件之顶部表面共平面。18.如申请专利范围第17项之压力感测器,其中该外壳之顶部表面实质地与该第一导体之顶部表面共平面。图式简单说明:第1图、系根据本发明之压力感测器上一部分的截面图示。第2图和第3图、更详细地显示了第1图感测器中电极的截面图示和平面图示。第4图和第5图、系根据本发明其他实施例之压力感测器的截面图示。
地址 美国