| 发明名称 |
Micro-electro mechanical system and method of making |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002356062(A1) |
申请公布日期 |
2003.03.03 |
| 申请号 |
AU20020356062 |
申请日期 |
2002.07.13 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
AROON TUNGARE;DANIEL GAMOTA;ANDREW SKIPOR;SANJAR GHAEM;MARC CHASON |
| 分类号 |
B81B3/00;H01H59/00;H05K3/40;(IPC1-7):B81B7/00;B81C1/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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