| 主权项 |
1.一种电子元件固定头,用于将电子元件安装到基板上,其包括:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,装在该主电子元件固定单元上的,使其面向由真空吸附固定的电子元件表面,以使电子元件透过真空吸附固定到该主电子元件固定单元;以及一光通道部分,形成在电子元件的边缘部分,其引导光线照到定位标记上,用于校正将要安装电子元件的基板和电子元件之间的位置偏移,其中该真空吸附部分将电子元件固定在位置是大致与电子元件之一个边缘平行,且大致上在电子元件的定位标记上的相互正交的直线上,并且该直线避开定位标记。2.根据申请专利范围第1项所述的电子元件固定头,进一步包括:一光源,安装在该主要电子元件固定头上,其光线透过该光通道部分照到由该真空吸附部分固定的电子元件上的定位标记上。3.根据申请专利范围第1项所述的电子元件固定头,其中该光通道部分是在该主要电子元件固定单元拐角的四方体切出部分。4.根据申请专利范围第1项所述的电子元件固定头,其中该光通道部分是在该主要电子元件固定单元拐角的锥形切出部分。5.根据申请专利范围第4项所述的电子元件固定头,进一步包括:一光源,安装在该主要电子元件固定单元上,其光线透过该光通道部分照到由该真空吸附部分固定的电子元件上的定位标记上,其中切出部分的斜面为反射镜的表面,从光源反射的光线经反射镜表面照到定位标记上。6.根据申请专利范围第1项所述的电子元件固定头,其中,该光通道部分是一个在主电子元件固定单元上的通透孔,其开口朝向电子元件的定位标记。7.根据申请专利范围第6项所述的电子元件固定头,其中,该真空吸附部分呈环形围绕通透孔周边。8.一种电子元件固定头,用于将电子元件固定到基板上,包括:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,安装在该主要电子元件固定单元上,其面向真空吸附的电子元件表面,以使电子元件由真空吸附固定到该主电子元件固定单元上;以及一光通道部分,形成于电子元件的边缘部,其引导光线照到定位标记上,用于校正将要安装电子元件的基板和电子元件之间的位置偏移,其中该真空吸附部分固定的电子元件的位置在跨过电子元件的定位标记而且其避开该电子元件之该定位标记的直线上。9.根据申请专利范围第8项所述的电子元件固定头,进一步包括:一光源,安装在该主要电子元件固定头上,其光线透过该光通道部分照到由该真空吸附部分固定的电子元件上的定位标记上。10.根据申请专利范围第8项所述的电子元件固定头,其中,该光通道部分是一个主电子元件固定单元拐角的四方体切出部分。11.根据申请专利范围第8项所述的电子元件固定头,其中,该光通道部分是一个主电子元件固定单元拐角的锥体切出部分。12.根据申请专利范围第8项所述的电子元件固定头,进一步包括:一光源,安装在该主要电子元件固定单元上,其光线透过该光通道部分照到由该真空吸附部分固定的电子元件上的定位标记上,其中形成切出部分的斜面作为反射镜的表面,从光源反射的光线经反射镜表面照到定位标记上。13.根据申请专利范围第8项所述的电子元件固定头,其中,该光通道部分是一个在该主电子元件固定单元中的通透孔,其开口朝向电子元件的定位标记。14.根据申请专利范围第13项所述的电子元件固定头,其中,该真空吸附部分呈环形围绕在通透孔的周边。15.一种电子元件安装装置,用于将电子元件安装到基板上,其包括:一电子元件输送单元,用于输送电子元件;一电子元件固定头,用于将电子元件固定到基板上;一成像单元,其形成由该电子元件固定头固定的电子元件边缘的定位标记的图像,用于校正将要安装电子元件的基板与电子元件之间的位置偏移;一位置偏移监测装置,基于由该成像单元获得的定位标记图像资料,监测电子元件相对于基板的位置偏移;一位置校正单元,基于位置偏移监测单元所监测的位置偏移量,电子元件相对于基板的在X轴和Y轴方向的位置偏移进行校正控制,其中,该电子元件固定头包括:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,安装在该主要电子元件固定单元上,其面向由真空吸附固定的电子元件固定的表面,以使电子元件透过真空吸附固定到该主要固定单元上;一光通道部分,形成在电子元件边缘部分,其引导光线照到定位标记上,从而校正电子元件与将要安装电子元件的基板的位置偏移,其中该真空吸附部分固定在横穿电子元件的定位标记与电子元件边缘平行且相互正交的直线上,而且其避开该定位标记。16.根据申请专利范围第15项所述的电子元件安装装置,进一步包括:一接收台,电子元件从该电子元件输送单元输送到该接收台上;以及一第二成像单元,形成一个在该接收台上的电子元件的定位标记的图像。17.一种电子元件安装装置,用于将电子元件安装到基板上,其包括:一电子元件输送单元,用于输送电子元件;一电子元件固定头,用于固定将要安装到基板的电子元件;一成像单元,其形成一个由该电子元件固定头固定的电子元件边缘部的定位标记的图像,用于校正电子元件与将要安装电子元件之间的位置偏移;一位置校正单元,基于由该位置偏移监测单元监测的位置偏移量,对电子元件相对于基板在X和Y轴方向的位置偏移进行校正控制,以使校正位置偏移的电子元件安装在基板上,其中该电子元件固定头包含:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,安装在该主要电子元件固定单元上,其面向由真空吸附固定的电子元件的表面,以使电子元件透过真空吸附固定到该电子元件固定单元上;一光通道部分,形成在电子元件边缘部分,其引导光线照到定位标记上,用于校正电子元件和将要安装电子元件的基板之间的位置偏移,其中该真空吸附部分固定在横穿电子元件的定位标记的避开电子元件的定位标记的一条直线上。18.根据申请专利范围第17项所述的电子元件安装装置,进一步包括:一接收台,电子元件从该电子元件输送单元输送到该接收台上;以及一第二成像单元,其形成一个在该接收台上的电子元件的定位标记的图像。19.一种将电子元件安装到基板上的方法,包括下列步骤:输送一个电子元件;形成一个用于补偿在电子元件与将要安装电子元件基板之间的位置偏移的定位标记的图像;基于该定位标记的图像资料监测电子元件相对于基板的位置偏移;基于该监测的位置偏移量校正电子元件相对于基板的X和Y轴方向的位置偏移;以及由该电子元件固定头固定校正位置偏移的电子元件并将其安装到基板上,其中该电子元件固定头包含:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,安装在该主要电子元件固定单元上,其面向由真空吸附固定的电子元件的表面,以使电子元件透过真空吸附固定到该主电子元件固定单元;以及一光通道部分,形成在电子元件的边缘部分,其引导光线照到定位标记上,用于校正电子元件与将要安装电子元件的基板之间的位置偏移,其中该真空吸附部分固定在电子元件定位标记上与电子元件边缘平行且相互正交的直线上而且其避免该定位标记。20.一种将电子元件安装到基板的方法,包括下列步骤:输送一个电子元件;形成一个定位标记的图像,用于补偿在电子元件与将要安装电子元件的基板之间的位置偏移;基于该定位标记的图像资料,监测电子元件相对于基板的位置偏移;基于该监测的位置偏移量,校正电子元件相对于基板在X和Y轴方向位置偏移;以及由该电子元件固定头固定一个校正位置偏移的电子元件并将其安装到基板上,其中该电子元件固定头包含:一主电子元件固定单元;一真空吸附部分,安装在该主要电子元件固定单元,其面向由真空吸附固定的电子元件表面,以使电子元件透过真空吸附固定到主要电子元件固定单元上;以及一光通道部分,形成在电子元件的边缘部分,其引导光线照到定位标记上,用于校正电子元件与将要安装电子元件的基板之间的位置偏移,其中该真空吸附部分固定在电子元件的定位标记上与电子元件边缘平行且相互正交的直线上,而且其避开该定位标记。图式简单说明:图1以简化图说明液晶显示设备制造过程实例的部分;图2是在图1中基板2的放大斜视图;图3是从下方看在图2中显示的电子元件9的一个实例的放大斜视图;图4是以前正视图说明元件固定装置8,在该种类型的装置中,传播的光线用于形成电子装置9边缘的图像;图5显示成像设备87,固定头81和基板2的特定部分之间互相位置关系的放大图;图6是一个截面图,显示块形三维固定头81透过真空吸力固定图4和图5中所示的电子元件9的情况;图7是一个沿图6箭头所指的VII-VII线的截面图;图8显示将要连接的已摄像的定位标记91b和导线91a部分的变形情况;图9是根据本发明第一实施例显示元件固定头应用到固定装置的前正视图;图10是放大的斜视图,显示图9中元件固定头主要部分结构;图11是部分前正视图,显示图9中的元件固定头;图12是沿图11中XII-XII线的箭头方向的剖面图;图13是沿图11中XII-XII线的箭头方向的放大剖面图;图14是图13的放大图;图15是根据本发明第二实施例显示元件固定头的前正视图;图16是根据本发明第二实施例以前正视图说明元件固定头的变化形式;图17是根据本发明第二实施例以前正视图说明元件固定头的另一个变化形式;图18是根据本发明第三实施例说明元件固定头的部分斜视图;图19是显示图18中元件固定头的剖面图;图20说明在图9中显示的平台85的详细结构图;以及图21是图9中显示的平台85的详细图。 |
