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发明名称
摘要
申请公布号
JP3407742(B2)
申请公布日期
2003.05.19
申请号
JP20020132671
申请日期
2002.05.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L21/607;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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