光记录媒体保护膜形成用溅镀靶及该靶之制造方法以及使用该靶形成保护膜之光记录媒体

摘要

本发明系关于一种光记录媒体保护膜形成用溅镀靶，系由硫化锌与矽氧化物之复合体所构成之溅镀靶；其特征在于，该靶所含之卤化物或卤素元素之至少1种类的总量换算为卤素元素在30ppm以下。可安定、低成本地制造具有微细晶粒、97%以上高密度的相变化型光记录媒体保护膜形成用靶，并藉由防止或抑制该靶之色斑等之变色来提高制品良率，且藉由使用该靶进行溅镀可提升光记录媒体之品质。