发明名称 彩色滤光片用显影液供料装置
摘要 一种彩色滤光片用显影液供料装置,此供料装置至少包括供料槽、循环管路、供料管路。其中供料槽以隔板区隔为循环槽与供应槽,并于隔板上设置连通装置。循环管路之两端皆与循环槽连接,适于使显影液仅于循环槽中循环。供料管路连接供应槽与显影机以及连接显影机与循环槽,适于使显影液由供应槽流至显影机,再由显影机回流至循环槽。藉由将循环混合显影液与加压输送显影液分槽处理,以避免于显影液中产生泡沫。尚且,于供料槽上更可设置抽真空减压管,藉由抽真空或减压的方式消除泡沫。
申请公布号 TW535027 申请公布日期 2003.06.01
申请号 TW091107557 申请日期 2002.04.15
申请人 和鑫光电股份有限公司 发明人 陈俊志
分类号 G03D5/00 主分类号 G03D5/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一;萧锡清 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种彩色滤光片用显影液供料装置,适用于供应显影液至一显影机,该供料装置至少包括:一供料槽,该供料槽以一隔板区隔为一循环槽与一供应槽,并于该隔板上设置一连通装置,其中该循环槽适于补充新显影液与循环混合新旧显影液,该供应槽适于供应显影液至该显影机;一循环管路,该循环管路之两端皆与该循环槽连接,适于使该循环槽中之显影液经该循环管路且仅于该循环槽中循环;以及一供料管路,连接该供应槽与该显影机以及连接该显影机与该循环槽,适于使显影液由该供应槽流至该显影机,并使未使用之显影液由该显影机回流至该循环槽。2.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置包括一切换阀。3.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置包括一连通管。4.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置装设于该隔板三分之一高度左右的位置。5.一种显影设备,包括:一显影机,适于喷洒显影液;一供料槽,该供料槽以一隔板区隔为一循环槽与一供应槽,并于该隔板上设置一连通装置,其中该循环槽适于补充新显影液与循环混合新旧显影液,该供应槽适于供应显影液至该显影机;一循环管路,该循环管路之两端皆与该循环槽连接,适于使该循环槽中之显影液经该循环管路且仅于该循环槽中循环;以及一供料管路,连接该供应槽与该显影机以及连接该显影机与该循环槽,适于使显影液由该供应槽流至该显影机,并使未使用之显影液由该显影机回流至该循环槽。6.如申请专利范围第5项所述之显影设备,其中该连通装置包括一切换阀。7.如申请专利范围第5项所述之显影设备,其中该连通装置包括一连通管。8.如申请专利范围第5项所述之显影设备,其中该连通装置装设于该隔板三分之一高度左右的位置。9.一种彩色滤光片用显影液供料装置,适用于供应显影液至一显影机,该供料装置至少包括:一供料槽,该供料槽以一隔板区隔为一循环槽与一供应槽,并于该隔板上设置一连通装置,其中该循环槽适于补充新显影液与循环混合新旧显影液,该供应槽适于供应显影液至该显影机;一循环管路,该循环管路之两端皆与该循环槽连接,适于使该循环槽中之显影液经该循环管路且仅于该循环槽中循环;一供料管路,连接该供应槽与该显影机以及连接该显影机与该循环槽,适于使显影液由该供应槽流至该显影机,并使未使用之显影液由该显影机回流至该循环槽;以及一抽真空减压管,设置于该供料槽上,适于连接一抽真空减压装置,以对该供料槽抽真空减压。10.如申请专利范围第9项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置包括一切换阀。11.如申请专利范围第9项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置包括一连通管。12.如申请专利范围第9项所述之彩色滤光片用显影液供料装置,其中该连通装置装设于该隔板三分之一高度左右的位置。13.一种显影设备,包括:一显影机,适于喷洒显影液;一供料槽,该供料槽以一隔板区隔为一循环槽与一供应槽,并于该隔板上设置一连通装置,其中该循环槽适于补充新显影液与循环混合新旧显影液,该供应槽适于供应显影液至该显影机;一循环管路,该循环管路之两端皆与该循环槽连接,适于使该循环槽中之显影液经该循环管路且仅于该循环槽中循环;一供料管路,连接该供应槽与该显影机以及连接该显影机与该循环槽,适于使显影液由该供应槽流至该显影机,并使未使用之显影液由该显影机回流至该循环槽;以及一抽真空减压管,设置于该供料槽上,适于连接一抽真空减压装置,以对该供料槽抽真空减压。14.如申请专利范围第13项所述之显影设备,其中该连通装置包括一切换阀。15.如申请专利范围第13项所述之显影设备,其中该连通装置包括一连通管。16.如申请专利范围第13项所述之显影设备,其中该连通装置装设于该隔板三分之一高度左右的位置。图式简单说明:第1图是习知一种显影设备之供料装置的示意图;第2图是依据本发明第一实施例之一种彩色滤光片用显影液供料装置的示意图;第3图是依据本发明第二实施例之一种彩色滤光片用显影液供料装置的示意图;以及第4图是依据本发明第三实施例之一种彩色滤光片用显影液供料装置的示意图。
地址 新竹县湖口乡新竹工业区文化路二之一号
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