| 主权项 |
1.一种胶膜,系包含胶膜薄膜、支撑胶膜薄膜的胶膜框、及将胶膜安装于光罩之树脂层者,其特征为该树脂层系包含硬质树脂层与软质树脂层之组合。2.如申请专利范围第1项之胶膜,其中构成该树脂层之树脂中,硬质树脂层的硬度为170gf以上,软质树脂层的硬度为100gf以下。3.如申请专利范围第1或2项之胶膜,其中该树脂层系包含光罩黏合面之包含硬质树脂的薄层;及胶膜框黏合面之包含软质树脂的厚层之组合。4.如申请专利范围第3项之胶膜,其中该树脂层中,包含硬质树脂的层之厚度为树脂层整体厚度5~30%,包含该软质树脂的层之厚度为树脂层整体厚度95~70%。图式简单说明:第1图 图示本发明之胶膜的一树脂层构造剖面图。第2图 图示本发明之胶膜的其他树脂层构造剖面图。第3图 图示本发明之胶膜的其他树脂层构造剖面图。第4图 图示本发明之胶膜的其他树脂层构造剖面图。 |
