| 摘要 |
本发明系有关一种将具有由(甲基)丙烯酸酯所衍生之单位为主链，且受酸之作用可增大对硷溶解性之树脂成分(A)与，经由曝光可产生酸之酸产生剂成分(B)，溶解于有机溶剂(C)所得之正型光阻组成物，其特征为，上记树脂成分(A)，系为含有：含多环式基之酸解离性溶解抑制基之(甲基)丙烯酸酯所衍生之单位(a1)、含内酯之单环式基或多环式基之(甲基)丙烯酸酯所衍生之单位(a2)、含羟基之多环式基之(甲基)丙烯酸酯所衍生之单位(a3)，与前述单位(a1)、(a2)与单位(a3)以外之含多环式基之(甲基)丙烯酸酯所衍生之单位(a4)之共聚合物。本发明之组成物，可提供一种具有优良之解像性，且可扩大独立光阻图型之焦点深度宽，与抑制邻接效果之增强化学性正型光阻组成物。 |
