发明名称 | 具警示用之酸槽加热装置 | ||
摘要 | 本发明揭露一种具警示作用的一酸槽加热装置。本装置至少包含一第一套管用来包覆一金属加热装置;一第二套管用以包覆第一套管并在第二套管内注入一警示溶液;以及一电源供应装置,此电源供应装置系与金属加热装置连接并用以提供一电源给金属加热装置。本装置除了可避免金属离子因套管破裂而污染电子元件。当与酸槽接触之套管破裂时更可由警示液与酸液反应的变化轻易得知迅速更换套管。 | ||
申请公布号 | TW200300994 | 申请公布日期 | 2003.06.16 |
申请号 | TW092103035 | 申请日期 | 2003.02.14 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 黄国良 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 代理人 | 陈达仁;谢德铭 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路三号 |