探针系统

摘要

本发明之探针系统具备相互邻接设置的探针装置以及装载装置。探针装置具有隔出收纳被检查物体的探测室的壳体，以及用来检查收纳于探测室内的物体的接触部。装载装置具有隔出一部份与探测室连通的装载室的壳体，以及于探测室与装载室之间搬运前述物体的搬运机构。于装载装置，在装载室内设置覆盖搬运机构的主护罩。于此探针系统设置将乾燥空气供入装载装置的主护罩内及探测室内的手段。