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发明名称
使用胶体以形成介电层之组合物与方法
摘要
一种胶体组合物,该组合物能够用于在基材上形成薄膜。胶体可为胶态矽石。薄膜可为介电层。基材可为其上具有间隙的半导体基材。
申请公布号
TW200300800
申请公布日期
2003.06.16
申请号
TW091133706
申请日期
2002.11.19
申请人
道康宁公司
发明人
黄毕云;克明 关;李松涛;艾瑞克 摩耶;王升;大卫 伟曼;周绍宾
分类号
C23C14/12
主分类号
C23C14/12
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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