晶圆盒及工件输送件分类工具

摘要

一种在工件输送系统中，将一晶圆盒输送件对准一机械手臂刀叶的对准工具、方法与系统，以补偿当晶圆盒被升高于各种槽位置时，由电梯轴所展现的倾斜。于一实施例中，该晶圆盒倾斜角可以于该晶圆盒在第一高度加以量测。于将电梯作动以升高晶圆盒至一较佳接近晶圆盒另一端的第二槽位置时，晶圆盒的倾斜角度可以再次量测。若倾斜角变化，则此变化似乎为电梯所造成。晶圆盒倾斜角可以依据所量测角加以调整，以降低晶圆或其他工件的不小心破裂或受损，该量测角系当晶圆盒被上升或下降时，电梯轴的倾斜该晶圆盒的角度。