探针装置

摘要

本发明揭示一种探针装置，该探针装置于顶板(14)的底面侧形成有朝向探测室(11)之正面侧开放的凹部(14A)。在此凹部(14A)配置有用来交换探针卡(13)的探针卡交换机构(20)。交换机构(20)具有用来支撑探针卡(13)的探针卡支撑构件(21)、伸缩机构(22)、汽缸(24)及凸轮机构(35)。伸缩机构(22)是使支撑构件(21)在探针卡(13)对应于弹簧线圈(16)的连接位置与外壳(10C)的开口部侧之间大致水平移动。而汽缸(24)及凸轮机构(35)是使支撑构件(21)相对于顶板(14)朝垂直方向移动，而可(经由弹簧线圈(16))相对于测试头(15)连接/拆卸探针卡(13)。