| 摘要 |
(课题)使用与以往相同之光学系提升有关倾斜角度之解析度，进而提高检查精确度。(解决方法)具备将发出R、G、B各彩色光之光源8、9、10配置于不同仰角方向上之投光部4之基板检查装置，对包含软焊部位之检查领域，自红、绿、蓝各色成份中抽出高于这些色成份强度之平均值之1或2个色成份。藉此抽出处理，适合各光源之8、9、10之倾斜面分别转换成红、绿、蓝之单色之浓淡影像，另外，适合光源8、9之倾斜面境界位置之倾斜面系转换为红与绿之混合色之浓淡影像，而适合光源9、10之倾斜面之境界位置之倾斜面则转换成绿和蓝之混合色之浓淡影像。 |
