| 发明名称 | 多光束图案生成器 | ||
| 摘要 | 一种在光敏衬底(11)上进行高精度图案的微型平印多光束写入的扫描图案生成器和方法，该系统包括：一光源(1)，优选为激光器，用于产生至少两个光束；一计算机控制的光调制器(4)；一偏转器，用于在衬底上对光束进行扫描；以及一物镜(10)，用于对来自光源的至少一个光束在其到达衬底前进行收缩，其中至少该物镜被设置在一可相对于衬底(11)和光源(1)运动的载体(22)上。由此，该载体限定了一条可相对于其余的固定光路运动的光路。此外，该系统还包括用来改变固定光路的装置，以在载体和可动光路运动过程中，使光束在入射到光敏衬底上时能够保持远心性。 | ||
| 申请公布号 | CN1432142A | 申请公布日期 | 2003.07.23 |
| 申请号 | CN01810270.0 | 申请日期 | 2001.06.25 |
| 申请人 | 微激光系统公司 | 发明人 | 托卓恩·桑斯托姆 |
| 分类号 | G03F7/20 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李德山 |
| 主权项 | 1.一种在光敏衬底(11)上进行高精度图案的微型平印多光束写入的扫描图案生成器(generator)，该系统包括：一光源(1)，优选为激光器，用于产生至少两个光束；一计算机控制的光调制器(4)；一偏转器，用于在衬底上对光束进行扫描；以及一物镜(10)，用于对来自光源的至少一个光束在其到达衬底前进行会聚；其中至少该物镜被设置在一可相对于衬底(11)和光源(1)运动的载体(22)上，其中该载体限定了一条可相对于其余的固定光路运动的光路，其特征在于：还包括用来改变固定光路的装置，以在载体和可动光路运动过程中，使光束在入射到光敏衬底上时能够保持其远心性。 | ||
| 地址 | 瑞典泰比 | ||