采用多路线性激光束通过热转移制造发光二极管器件

摘要

一种在OLED器件制造中在衬底上沉积有机层的方法，包括下列步骤：提供一种与OLED衬底处于转移关系的具有可转移有机材料的给体元件；形成基本均一、线性激光束；提供一种对线性激光束有响应性并适合用来形成多路线性激光束的空间光调制器；个别地调制选择的通路以形成一个或多个激光束区段，其中每个区段可包括一个或多个激光束通路，并且其中激光束通路沿第一方向具有基本方形强度曲线并沿垂直于第一方向的第二方向具有基本高斯(型)强度曲线，并指向给体元件；以及给体元件响应来自调制的区段的光而产生热量，从而将有机材料热转移到衬底的选择区域上。

主权项

1.一种在OLED器件制造中在衬底上沉积有机层的方法，包括下列步骤：(a)提供一种与OLED衬底处于转移关系的具有可转移有机材料的给体元件；(b)形成基本均一、线性激光束；(c)提供一种对线性激光束有响应性并适合用来形成多路线性激光束的空间光调制器；(d)个别地调制选择的通路以形成一个或多个激光束区段，其中每个区段可包括一个或多个激光束通路，并且其中激光束通路沿第一方向具有基本方形强度曲线并沿垂直于第一方向的第二方向具有基本高斯强度曲线，并指向给体元件；以及(e)给体元件响应来自调制的区段的光而产生热量，从而将有机材料热转移到衬底的选择区域上。