基板的曝光方法及其装置

摘要

本发明系关于半导体元件基板的曝光方法与其装置者，系使用一种具有单位曝光电路图像及位置辨识图像的光罩来曝光形成有光敏性薄膜在上的带状基板材料；俟经曝光的基板材料被移去后，可探测得曝光于基板材料上的位置辨认标志；此后，接下一个曝光区域位置参照经曝光的位置辨认标志予以排列。