曝光方法及装罝

摘要

本发明之目的，系在于将用以支持遮罩以及感光材所需之空间更为缩小者。本发明之曝光方法包括：使来自曝光用光源之光之至少一部分，入射至支持于支持装置之前述遮罩之入射步骤；以及引导来自前述遮罩之反射光，使其成像在支持于前述支持装置之前述感光材，俾从与光源之光入射于前述遮罩之入射方向不同的方向接收该反射光之成像步骤。