| 发明名称 | 电子装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的电子装置制造方法能缩短半色调相移掩模的别造TAT、降低成本、加速电子装置的开发、缩短品种开拓TAT和可以降低电子装置的制造费用。此方法是在半色调相移掩模中以有机膜形成遮光用辅助图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1442884A | 申请公布日期 | 2003.09.17 |
| 申请号 | CN02160835.0 | 申请日期 | 2002.12.27 |
| 申请人 | 株式会社日立制作所 | 发明人 | 田中稔彦;服部孝司 |
| 分类号 | H01L21/027;G03F7/00 | 主分类号 | H01L21/027 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 杜日新 |
| 主权项 | 1.一种电子装置的制造方法，其特征在于，此方法通过包括具有孔隙部的半透明相移图案和设于此孔隙部附近相对于曝光用光具备减光性或遮光性的有机模为主要组成部分的辅助图案的半色调相移掩模，而于基片上形成图案。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||