Integrated circuit device and method for manufacturing the same

摘要

집적회로 장치는 제1 및 제2 핀형 활성 영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 상기 제1 핀형 활성 영역 상에 형성되며, 상기 제1 핀형 활성 영역의 상면 및 양 측면을 덮는 제1 게이트 절연층, 상기 제1 게이트 절연층 상에 형성되며, 상기 기판의 상면에 수직한 제1 방향으로 제1 두께를 갖는 제1 게이트 전극, 및 상기 제1 게이트 전극 상에 형성되는 제2 게이트 전극을 포함하는 제1 게이트 구조물; 및 상기 기판의 상기 제2 핀형 활성 영역 상에 형성되며, 상기 제2 핀형 활성 영역의 상면 및 양 측면을 덮는 제2 게이트 절연층, 상기 제2 게이트 절연층 상에 형성되는 제3 게이트 절연층, 상기 제3 게이트 절연층 상에 형성되며, 상기 제1 방향으로 상기 제1 두께와 다른 제2 두께를 갖는 제3 게이트 전극, 및 상기 제3 게이트 전극 상에 형성되는 제4 게이트 전극을 포함하는 제2 게이트 구조물;을 포함한다.