发明名称 膜状接着剂之贴附装置
摘要 本发明之课题系针对膜状接着剂之贴附装置,防止将膜状接着剂卷绕成辊状之膜状接着剂供给卷轴之卷紧所导致之接着剂层的渗出以及膜状接着剂之结块化。本发明之解决手段系提供一种膜状接着剂之贴附装置10A,其具备:供给卷轴卡止部11(安装有膜状接着剂供给卷轴5,该膜状接着剂供给卷轴5系用以将由基膜2与其上所形成之接着剂层3所构成之膜状接着剂1卷绕成辊状)、热压合机构18(将自膜状接着剂供给卷轴5所拉出之膜状接着剂1热压合于受着体上)、卷取卷轴卡止部17(安装有卷取卷轴16,该卷取卷轴16系用以卷取热压合后之膜状接着剂1之基膜2);其中,设有一温度控制机构(热阻绝板19、冷却器等),该温度控制机构可将于供给卷轴卡止部11所安装之膜状接着剂供给卷轴5控制在既定温度。
申请公布号 TW200305237 申请公布日期 2003.10.16
申请号 TW092104982 申请日期 2003.03.07
申请人 索尼化学股份有限公司 发明人 熊仓 博之;山田 幸男
分类号 H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人 林镒珠
主权项
地址 日本