发明名称 打线装置
摘要 本发明,系能使毛细管以大致垂直于打线面之方向上下移动,而且对于打线面积大的工件也能进行打线。本发明之打线装置具备:保持毛细管11之超音波放大器10;保持超音波放大器10之放大器支撑具13;摇臂20,其以支轴21将放大器支撑具13支撑成可旋转自如,并被安装成摇动自如;辅助臂32,其被支轴30支撑成可旋转自如,并透过连结轴33而被放大器支撑具13支撑成可旋转自如;及驱动放大器支撑具13之驱动马达40;且支轴21,系设置于毛细管11前端11a水平线A上之假想中心B的大致垂直线C上;支轴30,系设置于旋转中心21a后方,且与该旋转中心21a大致等高处;连结轴33,系设置于自毛细管11前端11a连接支轴21之线D的延长、与自假想中心B连接支轴30之线E的延长的交点。
申请公布号 TW200305234 申请公布日期 2003.10.16
申请号 TW092103774 申请日期 2003.02.24
申请人 新川股份有限公司 发明人 京增隆一;铃木康志
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠
主权项
地址 日本