基材处理室之雷射钻孔表面

摘要

一种基材处理室，其具有一元件，该元件具有一表面曝露在该室内。所曝露的表面可以具有一凹陷图案，诸凹陷系彼此分隔，每一凹陷具有一开口、多侧壁及一底壁。诸凹陷系藉由将一加脉冲雷射束朝向该结构表面上的一位置一足够长时间，以蒸发在该位置上之一部份结构。该元件也可以为一具有密封体的配气器，其具有多数雷射钻孔气体出口，具有不同直径的第一及第二开口，以降低电浆之侵入该密封体中。雷射钻孔气体出口也可以具有圆形边缘。