掺稀土元素聚合物波导之制造方法

摘要

一种掺稀土元素聚合物波导之制造方法包括如下步骤：准备基片；于基片上旋转涂覆聚合物，形成下包层；于下包层上旋转涂覆由聚合物及可受激发光之稀土金属离子络合物组成之混合物，形成芯层；利用光罩板、紫外线曝光及蚀刻技术，形成至少一个通道波导；于通道波导及下包层暴露之部份上面旋转涂覆聚合物，形成上包层。该方法系利用稀土金属离子与有机化合物结合形成络合物，从而可增大稀土金属离子于聚合物基质中之溶解度，该络合物于氟化聚合物中比纯稀土金属离子具有更高之溶解度。