发明名称 HOT SUBSTRATE DEPOSITION OF FUSED SILICA PROCESS AND APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2002316541(A1) 申请公布日期 2004.01.23
申请号 AU20020316541 申请日期 2002.07.03
申请人 PHOENIX SCIENTIFIC CORPORATION 发明人 KIRIL, A. PANDELISEV
分类号 C03B37/012;C03B37/014;C03B37/029;(IPC1-7):C03B37/012 主分类号 C03B37/012
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利