对于圆板状基板用成膜装置的基板的交接方法,使用于该方法的基板交接机构及基板保持具,以及使用该方法的碟片状记录媒体的制造方法

摘要

本发明是有关于一种保持在大气中未存在穴的圆板状基板等，且对于溅射装置容易成为移载的基板的交接方法。为了该达成，在本发明中，在圆板上基板的两面部设置突起部且该基板是一体化覆盖其外周端部与部的外罩，及夹持基板而被固定于此的内罩及内罩固定用磁铁以进行搬运等。在交接机构中，进行依磁力的外罩的保持，而在基板被交接的基板保持具，也同时地进行依磁力的外罩的保持，在交接时，作成进行减低交接机构侧的磁力。