| 摘要 |
第2通讯伺服器（930），透过第1通讯伺服器（920）来取得基准之曝光条件下，曝光装置（9221～9223）所具备之调整装置之调整资讯以及关于投影光学系统成像性能（例如波面像差）之资讯，根据该资讯算出目标曝光条件下调整装置之最佳调整量。又，第2通讯伺服器，透过第1通讯伺服器（920）来取得目标曝光条件下，调整装置之调整资讯以及投影光学系统成像性能之实测资料，根据该资讯算出目标曝光条件下调整装置之最佳调整量。然后，第2通讯伺服器，分别根据算出结果，透过第1通讯伺服器（920）来控制曝光装置之调整装置。 |
