发明名称 检测修复系统及检测修复方法
摘要 本发明系提供一种检测修复系统系包含一光学显微放大器、一影像撷取器、一微光子侦测器、一处理控制器、及一高能光束产生器。检测修复系统系于侦测缺陷位置时,将一有机发光装置之待检测区域通以负向偏压,并利用微光子侦测器于放大之影像中侦测出产生微光现象之缺陷位置;且利用高能光束产生器来产生一高能光束,该高能光束系用以将某一缺陷位置隔离。另,本发明更提供一种检测修复方法。
申请公布号 TW577136 申请公布日期 2004.02.21
申请号 TW091125339 申请日期 2002.10.25
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 廖孟杰;李君浩;陈济中
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 刘正格 台北市大同区重庆北路三段八十八号三楼之一
主权项 1.一种检测修复系统,其系用以检测、修复一有机发光装置(device),该检测修复系统包含:一光学显微放大器,系用以将该有机发光装置之待检测区域影像放大;一影像撷取器,系与该光学显微放大器连结,并撷取该光学显微放大器所放大之影像;一微光子侦测器,系与该光学显微放大器连结,并自该光学显微放大器所放大之影像中侦测出产生微光现象之缺陷位置;一处理控制器,系分别与该影像撷取器与该微光子侦测器电性连结,用以储存该影像撷取器所撷取之放大影像及该微光子侦测器所侦测出之缺陷位置,且依据其所储存之放大影像以及缺陷位置资料产生一第一控制讯号;以及一高能光束产生器,系与该处理控制器电性连结,且与该光学显微放大器连结,该高能光束产生器系依据该第一控制讯号来产生一用以将某一缺陷位置隔离之高能光束,该高能光束系经由该光学显微放大器射出。2.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该处理控制器系更依据其所储存之放大影像以及缺陷位置资料产生一第二控制讯号。3.如申请范围第2项所述之检测修复系统,其中,该检测修复系统系更包含一测试平台,其系设有一电源,当该微光子侦测器侦测微光现象时,该有机发光装置系由该电源提供负向偏压;该测试平台系依据该处理控制器所产生之第二控制讯号做动。4.如申请范围第3项所述之检测修复系统,其中,该测试平台系三轴移动定位平台。5.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该检测修复系统系更包含一显示器,其系与该处理控制器电性连结,用以显示该处理控制器所输出之画面。6.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该影像撷取器系CCD影像撷取器。7.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该处理控制器系电脑。8.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该有机发光装置系有机发光面板。9.如申请范围第1项所述之检测修复系统,其中,该有机发光装置系有机发光元件。10.一种检测修复方法,其系用以检测、修复一有机发光装置(device),该检测修复方法包含以下步骤:利用一光学显微放大器将该有机发光装置之待检测区域影像放大;利用一影像撷取器撷取放大之影像;将该有机发光装置之待检测区域通以负向偏压,并利用一微光子侦测器于放大之影像中侦测出产生微光现象之缺陷位置;利用一处理控制器系分别储存该放大影像及缺陷位置资料,且依据其所储存之放大影像以及缺陷位置资料产生一第一控制讯号;以及利用一高能光束产生器来产生一高能光束,该高能光束产生器系依据该第一控制讯号来产生一用以将某一缺陷位置隔离之高能光束。11.如申请范围第10项所述之检测修复方法,其中,该处理控制器系更依据其所储存之放大影像以及缺陷位置资料产生一第二控制讯号。12.如申请范围第10项所述之检测修复方法,其中,该影像撷取器系CCD影像撷取器。13.如申请范围第10项所述之检测修复方法,其中,该处理控制器系电脑。14.如申请范围第10项所述之检测修复方法,其中,该有机发光装置系有机发光面板。15.如申请范围第10项所述之检测修复方法,其中,该有机发光装置系有机发光元件。图式简单说明:图1系本发明之检测修复系统的构成方块图。图2系利用本发明之检测修复系统来进行检测、修复时,特定区域画素的状态示意图。图3系本发明之检测修复系统的简单构成示意图。图4系本发明之检测修复方法的流程说明图。
地址 新竹县湖口乡新竹工业区光复北路十二号